-
Al2O3 керамик пластиналы патронны шәхси эшкәртү
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
ST.CERA ярымүткәргеч җиһазлары өчен махсус эшләнгән керамик пластина
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
300 мм пластина эшкәртү өчен 12 дюймлы алюминий оксиды вакуум патрон
St.Cera компаниясенең 12 дюймлы вакуум патроннары 300 мм пластиналар белән эшләү өчен 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) төгәл эшләнгән. Патронның вак уемлы өслеге бар (уем киңлеге 0,5–1,0 мм, адым 2–3 мм), бу 300 мм диаметр буенча вакуумның тигез таралуын тәэмин итә. Тигезлек 5 мкм эчендә саклана, бу ваклау, арткы яктан тарту һәм тикшерү вакытында пластинаны кәкрелексез ныгытырга мөмкинлек бирә. Материалның югары бөгелә торган ныклыгы (361 МПа) һәм катылыгы (16 ГПа) кабатланган вакуум цикллары вакытында да озак вакытлы үлчәмле тотрыклылыкны гарантияли.
-
Ярымүткәргеч зонд җиһазлары өчен керамик запас частьләр
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Керамик пластина ярымүткәргеч җиһазлар ташучы
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Ярымүткәргеч җиһазлар Керамик запас частьләр
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Югары температуралы камераны герметизацияләү өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды керамик герметизация боҗрасы
St.Cera керамик герметик боҗрасы эластомерлар таркала торган экстремаль мохитләрдә полимер О-боҗраларына альтернатива буларак эшләнгән. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән бу каты герметик боҗра статик герметик кушымталарда кулланыла - гадәттә йомшак металл яки графит прокладкасы белән парлашып - 800°C кадәр температурада һәм агрессив плазма яки химик мохиттә ышанычлы вакуум яки газ тотуны тәэмин итү өчен. Материал нуль газ чыгару, югары кысу ныклыгы (төп бөгелү ныклыгы 361 МПа) һәм химик инертлык (HFтан кала галогеннарга, кислоталарга һәм селтеләргә чыдам) тәкъдим итә. Төгәл капланган герметик өслекләр (тислелеге ≤5 мкм, өслекнең тупаслыгы Ra ≤0,2 мкм) кушылучы металл яки керамик компонентлар белән агып чыгудан саклануны тәэмин итә.
-
Плазма эшкәртү һәм йөрәк-кан тамырлары системалары өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды камерасының фокус боҗрасы
St.Cera камерасының фокус боҗрасы - плазма эшкәртү, CVD һәм PVD ярымүткәргеч җиһазларында кулланыла торган мөһим процесс комплекты компоненты. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән боҗра пластина кырыен әйләндереп алып, плазманы чикли һәм ион почмак таралышын оптимальләштерә, шуның белән пластина өслеге буенча эшкәртү тигезлеген яхшырта. Материал гаҗәеп плазмага каршы торучанлык, югары диэлектрик ныклык (15 × 10⁶ V/m) һәм 1600°C кадәр термик тотрыклылык бирә, агрессив фтор яки хлор нигезендәге плазма мохитендә озак вакытлы ышанычлылыкны тәэмин итә. Төгәл җирләү ID/OD һәм яссылык (≤10 мкм) пластина кырыен төгәл урнаштыру мөмкинлеген бирә, кырый кимчелекләрен һәм кисәкчәләр барлыкка килүен киметә.
-
CVD / PVD процесс камералары өчен югары сафлыклы алюминий оксиды керамик боҗрасы
St.Cera керамик боҗрасы CVD (Химик пар утырту) һәм PVD (Физик пар утырту) процесс камераларында куллану өчен махсус эшләнгән. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән бу боҗра плазманы чикләү һәм камера стеналарын эрозиядән саклау өчен камера астары, фокус боҗрасы яки процесс комплекты компоненты булып хезмәт итә. Материал плазмага бик яхшы каршылык, югары диэлектрик ныклык (15 × 10⁶ V/m) һәм 1600°C кадәр термик тотрыклылык бирә, агрессив фтор нигезендәге плазма мохитендә озак хезмәт итү вакытын тәэмин итә. Төгәл үлчәмле түземлелек (ID/OD буенча ±0,05 мм) һәм яссылык (≤10 мкм) пластина кырыеның тотрыклы урнашуын тәэмин итә, утырма бердәмлеген яхшырта һәм кисәкчәләр барлыкка килүен киметә.
-
Вакланган пластиналар белән эш итү өчен күзәнәкле керамик вакуум патрон
St.Cera компаниясенең күзәнәкле керамик патрон югары сафлыклы алюминий оксидыннан эшләнгән, ачык күзәнәклелеге 30–45% тәшкил итә һәм күзәнәк зурлыгы 10нан 100 мкм га кадәр. Гадәти уемлы патроннардан аермалы буларак, күзәнәкле өслек пластинаның арткы ягы буенча таралган вакуум тәэмин итә, кыйшайган, нечкә яки ялгыз пластиналарны кырыйлары күтәрелмичә яки сынмыйча нәтиҗәле тота. Йомшак вакуум (чикләгеч аша көйләнергә мөмкин) шулай ук арткы ягында билгеләрнең барлыкка килүенә юл куймый.
-
Нечкә пластиналар белән эш итү өчен алюминий нигезендәге күзәнәкле керамик вакуум патрон
St.Cera компаниясенең алюминий оксиды нигезендәге күзәнәкле патрон 99,6% югары сафлыклы Al₂O₃ составыннан эшләнгән, ачык күзәнәклелеге 30–45% тәшкил итә, ә күзәнәклелеге 10нан 50 мкм га кадәр тигез. Уенлы патроннардан аермалы буларак, күзәнәкле өслек пластинаның арткы ягы буйлап таралган вакуум тәэмин итә, кырыйдагы билгеләр юкка чыга һәм ультра нечкә (≤100 мкм) яки кәкре пластиналарны йомшак тотарга мөмкинлек бирә. Материал ≥250 МПа бөгелүгә ныклык һәм һавада 400°C кадәр җылылык тотрыклылыгы бирә.
-
CVD/PVD душ башы өчен алюминий газы бүлү пластинасы
St.Cera газ бүлү пластинасы (душ башы) югары сафлыклы 99,8% алюминий оксиды керамикасыннан төгәл эшкәртелгән. Аның микротишекләре (диаметрлары 0,3–1,5 мм) бар, алар CVD, PVD яки ALD процесслары вакытында пластина өслеге буенча тигез газ агымын тәэмин итә. Пластинаның югары диэлектрик ныклыгы (>15 × 10⁶ V/m) һәм плазмага каршы торучанлыгы аны ярымүткәргеч юка пленкалы утырту өчен бик мөһим итә.
