CVD/PVD душ башы өчен алюминий газы бүлү пластинасы
St.Cera газ бүлү пластинасы (душ башы) югары сафлыклы 99,8% алюминий оксиды керамикасыннан төгәл эшкәртелгән. Аның микротишекләре (диаметрлары 0,3–1,5 мм) бар, алар CVD, PVD яки ALD процесслары вакытында пластина өслеге буенча тигез газ агымын тәэмин итә. Пластинаның югары диэлектрик ныклыгы (>15 × 10⁶ V/m) һәм плазмага каршы торучанлыгы аны ярымүткәргеч юка пленкалы утырту өчен бик мөһим итә.
Спецификацияләр:
| Милек | Бәя |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ яки SiC |
| Диаметр | 100 – 1500 мм (түгәрәк) яки турыпочмаклы |
| Калынлыгы | 5 – 20 мм |
| Тишек диаметры | 0,3 – 1,5 мм |
| Тишек үрнәге | Заказ буенча (өчпочмаклы, квадрат, радиаль) |
| Яссылык | Тулы мәйдан буенча ≤10 мкм |
| Өслекнең катылыгы | Ra ≤0.6 мкм (газ ягы) |
| Ачык мәйдан нисбәте | 5–15% |
Кушымталар:
PECVD душ башы плиталары
ALD газ инжекторлары
Очыш камерасы газ бүлү пластиналары
MOCVD реактор компонентлары
Җитештерү:
Алюминий оксиды нигезендә яссы итеп әйләндерү → Алмаз белән капланган кораллар белән CNC бораулау (тишек урнашуына түземлелек ±0,02 мм) → катламнарны чистарту → ультратавышлы чистарту → 100 класслы упаковка.
Сыйфат контроле:
Һәр пластина тишек зурлыгы (күрү системасы), яссылыгы (лазер интерферометры) һәм газ агымының тигезлеге (басым картасы) буенча 100% тикшерелә. 20х микроскоп астында микро ярыклар юк.
Металл пластиналар белән чагыштырганда өстенлекләре:
Нечкә пленкаларда металлик пычрану юк
Түбән кисәкчәләр барлыкка килә (коррозия кабырчыклары юк)
Агрессив чистарту плазмаларына (CF₄, NF₃) чыдам
Махсус функцияләр:
Арткы яктагы газ каналлары, каршы борауланган тишекләр, кырый тыгызлагычлар һәм төрле материал класслары (югары җылылык үткәрүчәнлеге өчен SiC, плазмага каршы тору өчен Y₂O₃ каплагыч).
Без җитештерү алдыннан CAD тикшерүен һәм агым симуляциясен тәэмин итәбез.
