Традицион Al2O3 һәм BeO субстрат материалларының комплекслы өстенлекләре белән берләштерелгән алюминий нитриды (AlN) керамикасы югары җылы үткәрүчәнлеккә ия (монокристаллның теоретик җылы үткәрүчәнлеге 275 Вт/м▪к, поликристаллның теоретик җылы үткәрүчәнлеге 70 ~ 210 Вт/м▪к), түбән диэлектрик даимилеге, монокристалл кремний белән туры килә торган җылылык киңәю коэффициенты һәм яхшы электр изоляциясе үзлекләре, микроэлектроника сәнәгатендә схема субстратлары һәм төргәкләү өчен идеаль материал булып тора. Ул шулай ук югары температуралы механик үзлекләре, җылылык үзлекләре һәм химик тотрыклылыгы аркасында югары температуралы структураль керамик компонентлар өчен мөһим материал булып тора.
AlN теоретик тыгызлыгы 3,26 г/см3, MOHS катылыгы 7-8, бүлмә температурасында каршылык 1016Ωм дан зуррак, ә җылылык киңлеге 3,5 × 10-6/℃ (бүлмә температурасы 200℃). Саф AlN керамикасы төссез һәм үтә күренмәле, ләкин алар төрле төсләрдә, мәсәлән, соры, соры ак яки ачык сары, катнашмалар аркасында була.
Югары җылылык үткәрүчәнлегеннән тыш, AlN керамикасы шулай ук түбәндәге өстенлекләргә ия:
1. Яхшы электр изоляциясе;
2. Кремний монокристалы белән охшаш җылылык киңәю коэффициенты, Al2O3 һәм BeO кебек материаллардан өстенрәк;
3. Al2O3 керамикасы белән югары механик ныклык һәм охшаш бөгелү ныклыгы;
4. Уртача диэлектрик даимилек һәм диэлектрик югалтулар;
5. BeO белән чагыштырганда, AlN керамикасының җылылык үткәрүчәнлегенә температура азрак тәэсир итә, бигрәк тә 200℃ тан югарырак;
6. Югары температурага чыдамлык һәм коррозиягә чыдамлык;
7. Агуланмый;
8. Ярымүткәргечләр сәнәгатендә, химия металлургиясе сәнәгатендә һәм башка сәнәгать өлкәләрендә кулланылырга тиеш.
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 14 июле
