300 мм пластина эшкәртү өчен 12 дюймлы алюминий оксиды вакуум патрон
St.Cera компаниясенең 12 дюймлы вакуум патроннары 300 мм пластиналар белән эшләү өчен 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) төгәл эшләнгән. Патронның вак уемлы өслеге бар (уем киңлеге 0,5–1,0 мм, адым 2–3 мм), бу 300 мм диаметр буенча вакуумның тигез таралуын тәэмин итә. Тигезлек 5 мкм эчендә саклана, бу ваклау, арткы яктан тарту һәм тикшерү вакытында пластинаны кәкрелексез ныгытырга мөмкинлек бирә. Материалның югары бөгелә торган ныклыгы (361 МПа) һәм катылыгы (16 ГПа) кабатланган вакуум цикллары вакытында да озак вакытлы үлчәмле тотрыклылыкны гарантияли.
Спецификацияләр (99,8% Al₂O₃ нигезендә):
| Милек | Бәя |
| Диаметр | 300 мм (12 дюйм) |
| Материал | 99,8% алюминий оксиды (фил сөяге) |
| Тыгызлык | 3,93 г/см³ |
| Бөгелү көче | 361 МПа |
| Виккерс катылыгы | 16 ГПа |
| Яссылык (300 мм дан артык) | ≤5 мкм |
| Учак киңлеге | 0,5–1,0 мм |
| Максималь эш температурасы | 800°C |
| Диэлектрик көч | 15×10⁶ В/м |
Кушымталар:
300 мм пластинаны ваклап турау һәм язу
Вафлиның арткы ягын тарту (нечкә вафли терәге)
Оптик тикшерү һәм зондлау
Вакытлыча тоташтыру/ачу патроннары
Җитештерү:
CNC җир белән эшкәртелә һәм тигезлеккә кадәр әйләндерелә, бриллиант тәгәрмәчләр белән уем ясала, ультратавыш ярдәмендә чистартыла һәм 100 нче класслы чиста бүлмәдә төрелә. Һәр патрон 100% тигезлеккә (лазер интерферометры) һәм уем тирәнлегенә (профилометр) тикшерелә.
Өстенлекләр:
Аз кисәкчәләр барлыкка килү (≤0,05 кисәкчә/см²)
Эреткечләргә һәм кислоталарга химик яктан инертлы
ESD өчен куркынычсыз өслек (каршылык >10¹³ Ω·см)
Вакуум тишекләре өчен махсус үрнәкләр һәм арткы портлар бар.
