Югары температуралы камераны герметизацияләү өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды керамик герметизация боҗрасы
St.Cera керамик герметик боҗрасы эластомерлар таркала торган экстремаль мохитләрдә полимер О-боҗраларына альтернатива буларак эшләнгән. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән бу каты герметик боҗра статик герметик кушымталарда кулланыла - гадәттә йомшак металл яки графит прокладкасы белән парлашып - 800°C кадәр температурада һәм агрессив плазма яки химик мохиттә ышанычлы вакуум яки газ тотуны тәэмин итү өчен. Материал нуль газ чыгару, югары кысу ныклыгы (төп бөгелү ныклыгы 361 МПа) һәм химик инертлык (HFтан кала галогеннарга, кислоталарга һәм селтеләргә чыдам) тәкъдим итә. Төгәл капланган герметик өслекләр (тислелеге ≤5 мкм, өслекнең тупаслыгы Ra ≤0,2 мкм) кушылучы металл яки керамик компонентлар белән агып чыгудан саклануны тәэмин итә.
Спецификацияләр(99,8% Al нигезендә₂O₃):
| Милек | Бәя |
| Материал | 99,8% алюминий оксиды (фил сөяге) |
| Тыгызлык | 3,93 г/см³ |
| Су сеңдерү | 0% |
| Бөгелү көче | 361 МПа |
| Кысылу көче (якынча) | >2000 МПа |
| Виккерс катылыгы | 16 ГПа |
| Җылылык киңәюе (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Максималь эш температурасы | 800°C (һава), 1600°C (инерт) |
| Өслек бизәлеше (ябыштыручы өслек) | Ra ≤0.2 мкм (бер катламлы) |
| Яссылык (25 мм га) | ≤5 мкм |
| Гелий агып чыгу тизлеге | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (тиешле прокладка белән) |
Кушымталар:
- · Ярымүткәргечле процесс камерасының статик герметиклары (CVD, PVD, гравюра)
- · Югары температуралы мич ишеге герметиклары
- · Вакуум аша үтүче фланецлар
- · Химик реактор корабын ябу
Җитештерү процессы:
Изостатик пресслау → 1600°C температурада блендерлау → ике яклы төгәл ябыштыру, ультра яссы, шома герметизацияләү өслекләрен булдыру → кырыйларны фаскалау → ультратавышлы чистарту. Һәр боҗра стандарт металл прокладка белән гелий агып чыгу детекторында 100% агып чыгуга тикшерелә.
Сыйфат контроле:
- · CMM үлчәмнәрен тикшерү (ID, OD, калынлык, параллелизм)
- · Ra һәм дулкынлылык өчен өслек профилометры
- · Оптик яссылык ярдәмендә яссылыкны үлчәү
- · Гелий агып чыгуын тикшерү (кире басым ысулы)
Полимерлы О-боҗралар белән чагыштырганда өстенлекләре:
- · FFKM өчен 800 ° C каршы <300 ° C каршы тора
- · Нуль газ чыгару — вакуум мохите пычранмый
- · Плазма химиясенең барлык матдәләренә (фтор, хлор, кислород) чыдам
- · Компрессия яки даими деформация юк
- · Чиста мохиттә чиксез хезмәт итү вакыты
Чикләүләр (Критик искәрмәләр):
- · О-формасындагы боҗра түгел— бу каты керамик боҗра, аны герметизацияләү өчен йомшак прокладка (бакыр, алюминий яки графит) кирәк.
- · Динамик хәрәкәтне яки зур фланец тигезләмәвен исәпкә алмый.
- · Полимер О-боҗраларга караганда башлангыч бәя югарырак, ләкин озаграк хезмәт итү вакыты хуҗа булу бәясен киметә.
- · Сынучан — сак булыгыз; нокта бәрелүдән яки бөкләнүдән сакланыгыз.
Искәрмә:Югарыдагы мәгълүматлар бирелгән Al₂O₃ үзлекләр таблицасына туры килә. Эластомер материаллар турында мәгълүмат бирелмәгән. Бу продукт - эластомер O-боҗра түгел, ә статик герметик боҗра. Зинһар, бу сезнең куллану таләпләренә туры киләме-юкмы икәнен тикшерегез.
