Плазма эшкәртү һәм йөрәк-кан тамырлары системалары өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды камерасының фокус боҗрасы
St.Cera камерасының фокус боҗрасы - плазма эшкәртү, CVD һәм PVD ярымүткәргеч җиһазларында кулланыла торган мөһим процесс комплекты компоненты. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән боҗра пластина кырыен әйләндереп алып, плазманы чикли һәм ион почмак таралышын оптимальләштерә, шуның белән пластина өслеге буенча эшкәртү тигезлеген яхшырта. Материал гаҗәеп плазмага каршы торучанлык, югары диэлектрик ныклык (15 × 10⁶ V/m) һәм 1600°C кадәр термик тотрыклылык бирә, агрессив фтор яки хлор нигезендәге плазма мохитендә озак вакытлы ышанычлылыкны тәэмин итә. Төгәл җирләү ID/OD һәм яссылык (≤10 мкм) пластина кырыен төгәл урнаштыру мөмкинлеген бирә, кырый кимчелекләрен һәм кисәкчәләр барлыкка килүен киметә.
Спецификацияләр(99,8% Al нигезендә₂O₃):
| Милек | Бәя |
| Материал | 99,8% алюминий оксиды (фил сөяге) |
| Тыгызлык | 3,93 г/см³ |
| Су сеңдерү | 0% |
| Бөгелү көче | 361 МПа |
| Сыну чыдамлыгы | 3–4 МПа·м¹/² |
| Виккерс катылыгы | 16 ГПа |
| Янг модуле | 380 ГПа |
| Җылылык үткәрүчәнлеге | 32 Вт/м·к |
| Җылылык киңәюе (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрик көч | 15×10⁶ В/м |
| Махсус каршылык | >10¹⁴ Ω·см |
| Максималь эш температурасы | 1600°C |
Кушымталар:
- · Диэлектрик эшкәртү камерасының фокус боҗралары (оксид, нитрид эшкәртү)
- · Кремний эшкәртү камерасы кырый боҗралары
- · CVD камерасы процессы комплекты боҗралары
- · PVD камерасы калканы һәм кыскыч боҗралары
Җитештерү процессы:
Югары сафлыклы алюминий оксиды порошогы изостатик рәвештә бастырыла → яшел төстә эшкәртелә, челтәргә якын формага китерелә → 1600°C температурада кимерелә → ID, OD һәм калынлыкның CNC алмаз тартуы → ≤10 мкм яссылыкка ирешү өчен шаплау → ультратавышлы чистарту → 100% CMM тикшерүе. Өслекнең Ra ≤0.4 мкм өлеше кисәкчәләрнең ябышуын минимальләштерә.
Сыйфат контроле:
- · 100% үлчәмле тикшерү (ID, OD, калынлык, параллелизм)
- · Буяуның микроярыкларга үтеп керүен тикшерү (ярыклар рөхсәт ителми)
- · 20х микроскоп астында визуаль тикшерү — кисәкчәләр, бушлыклар яки төс үзгәрүләр юк
- · ASTM D149 буенча диэлектрик ныклык сынауы (үрнәк алу)
Кремний яки кварц фокус боҗралары белән чагыштырганда өстенлекләре:
- · Фторкарбон плазмасында гомер озынлыгы 5–10 тапкыр озаграк
- · Пластинаны пычрату өчен кулланылырга тиешле эрозия кисәкчәләре юк
- · Югарырак диэлектрик ныклык дуга барлыкка килүне булдырмый
- · Меңләгән сәгатьлек радиоешлыклар дәвамында яссылыкны һәм үлчәм төгәллеген саклый
Альтернатив материал — Иттрий белән стабилизацияләнгән цирконий (ZrO₂):
Югарырак сыну чыдамлыгы таләп итә торган кушымталар өчен (мәсәлән, еш термик цикл яки механик бәрелү булган камералар), ZrO₂ фокус боҗралары (тыгызлыгы 6,03 г/см³, бөгелү ныклыгы 1000 МПа, сыну чыдамлыгы 5–8 МПа·м¹/²) бар. Шулай да, алюминий оксиды яхшырак чыгымнар өчен нәтиҗәлерәк һәм күпчелек фокус боҗралары өчен тармак стандарты булып тора.
Үзгәртү:
- · Клиент рәсеме буенча баскыч профильләре, өстәл тишекләре яки урнаштыру тишекләре
- · Плазма эрозиясенә каршы торучанлыкны арттыру өчен Y₂O₃ капламасы (калынлыгы 20–100 мкм)
- · Деталь номерын, дата кодын яки тигезләү билгеләрен лазер белән билгеләү
Искәрмә:Барлык мәгълүматлар да бирелгән Al₂O₃ үзлекләр таблицасында күрсәтелгән. ZrO₂ спецификацияләре өчен бирелгән цирконий мәгълүматлар таблицасын карагыз. Фокус боҗрасы конструкцияләре өчен патент раславы таләп ителергә мөмкин - клиентлар интеллектуаль милек хокукларын тикшерү өчен җаваплы.
