Бернулли керамик оч эффекторы — нечкә һәм ватык пластиналар өчен контактсыз пластина эшкәртү

St.Cera'ның Бернулли керамик оч эффекторы пластиналарны физик контактсыз эшкәртү өчен аэродинамикалык күтәрү куллана. Югары сафлыклы 99,8% алюминий оксидыннан (Al₂O₃) яки кремний карбидыннан (SiC) эшләнгән ул төгәл эшкәртелгән насадкалар белән җиһазландырылган, алар басымлы газ чыгара, нәтиҗәдә оч эффекторы һәм пластина арасында юка һава пленкасы барлыкка килә. Бу контактсыз принцип арткы яктан пычрануны, кырыйларның ватылуын һәм өслекнең зыян күрүен бетерә, бу аны юка (≤100 мкм), сынучан яки кәкре пластиналар өчен идеаль итә. Керамик субстрат югары бөгелә торган ныклык (Al₂O₃ өчен 361 МПа; SiC өчен 550–600 МПа га кадәр), түбән масса һәм бик яхшы үлчәмле тотрыклылык бирә, югары тизлекле пластина күчерү роботларында кабатланырлык урнаштыруны тәэмин итә.

Материаллар турында искәрмә:Алюминий оксиды (Al₂O₃) - ярымүткәргеч пластиналар белән эшләүдә керамик оч эффекторлары өчен иң киң кулланыла торган материал, чөнки ул катылык, электр изоляциясе, химик тотрыклылык һәм чыгымнарның нәтиҗәлелеге кебек сыйфатларның бик яхшы комбинациясе белән аерылып тора. Кремний карбиды (SiC) югарырак җылылык үткәрүчәнлеге, югарырак катылык һәм иң катлаулы кушымталар өчен тагын да яхшырак тузуга чыдамлык бирә. Иттрий белән тотрыклыландырылган цирконий (ZrO₂) бүлмә температурасында югары сынуга чыдамлык бирсә дә, ул югарырак тыгызлык һәм төрле җылылык киңәю үзенчәлекләре аркасында бу кулланылышта сирәгрәк кулланыла; ул гадәттән тыш сынуга чыдамлык таләп ителгән аерым сценарийлар өчен каралырга мөмкин. Материал сайлау буенча күрсәтмәләр алу өчен безнең техник командага мөрәҗәгать итегез.

Спецификацияләр(99,8% Al нигезендә₂O₃):

Эш принцибы:

Кысылган һава яки азот (0,2–0,6 МПа) эчке каналлар аша бирелә һәм төгәл насадкалар аша чыга. Тизләтелгән һава агымы оч эффектор өстендә түбән басым зонасы булдыра (Бернулли эффекты), пластинаны 50–200 мкм аралыкта тотып торучы күтәрү көчен барлыкка китерә. Вакуум тишекләре яки пластиналарның арткы ягына тими.

Кушымталар:

• · Арткы яктан тарттырганнан соң юка пластинаны (≤50 мкм) эшкәртү
• · Вафлиның бормаланган ташуы (мәсәлән, CVD яки җылытудан соң)
• · Кояш батареясы һәм LED сапфир субстратын күчерү
• · Нуль кисәкчәләр барлыкка китерүне таләп итүче чиста бүлмә автоматизациясе
• · Дисплей җитештерүдә пыяла панельләр белән эш итү

Җитештерү процессы:

Югары чисталыклы порошоктан эшкәртелгән керамик субстрат → Газ каналларын һәм сопло тишекләрен 5 күчәрле CNC эшкәртү (диаметры 0,3–1,0 мм, түземлелек ±0,01 мм) → Ra ≤0,4 мкм өслеккә кадәр йомшарту → ультратавыш чистарту → гелий агып чыгуын тикшерү (газ каналлары). Каплау кирәк түгел — ялангач керамик өслек химик яктан инерт һәм пычранмый.

Сыйфат контроле:

• · Соплоларның урнашуын, кул озынлыгын һәм яссылыгын 100% үлчәмле тикшерү (CMM)
• · Һава агымының бердәмлеген тикшерү: барлык насадкаларда басым төшүе ≤5%
• · Агып чыгуны тикшерү: газ каналлары 0,6 МПа басымда ябылган, 30 секундтан артык басым төшмәгән
• · Микроярыклар яки бөртекләр булуына 20 тапкыр зуррак микроскоп астында визуаль тикшерү

AГадәти контакт эффекторлары белән чагыштырганда өстенлекләре:

• · Вафлиның арткы өлеше пычранмаган — механик контакт юк
• · Нечкә пластиналарның кырыйлары ватылмый яки сынмый
• · Тотрыклы арасы булган, кәкре пластиналарны (1 мм га кадәр озынлыктагы) тота
• · Вакуум генераторын һәм мәсамәле патронны карап тотуны бетерә
• · Керамик конструкция тузуга һәм химик һөҗүмгә чыдам

Үзгәртү:

• · 200 мм, 300 мм яки заказ буенча ясалган пластина зурлыклары өчен бар
• · Газ форсункалары үрнәкләре: туры, почмаклы яки вортекс төрләре
• · Материаллар: алюминий оксиды (стандарт) яки кремний карбиды (иң югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм тузуга чыдамлыгы өчен)
• · OEM рәсеме буенча култык озынлыгы, монтажлау фланецы һәм газ порты урнашуы

Чикләүләр:

Бернулли принцибы буенча гамәлгә ашыру (форсунка конструкциясе, һава аралыгы) бирелгән материал үзлекләре таблицаларыннан читтә. Югарыдагы механик һәм җылылык үзлекләре 99,8% Al₂O₃ өчен бирелгән мәгълүмат таблицаларына туры килә. Бу материал үзлекләренә нигезләнеп, басым астында газ агымы керамикасының эш сыйфатының начарлануы көтелми. Газ агымына сизгер пластиналар өчен (мәсәлән, ватык структуралы MEMS), газ басымы һәм форсунка конструкциясе тиешенчә көйләнергә тиеш.