Тефлон белән капланган керамик оч эффекторы – сизгер пластиналар белән эшләү өчен ябышмый торган өслек
St.Cera'ның тефлон (PTFE) белән капланган керамик оч эффекторы югары ныклыктагы алюминий оксиды нигезен тигез, түбән ышкылучан PTFE каплавы белән берләштерә (калынлыгы 15–30 мкм). Каплама бик түбән ышкылу коэффициентын (≤0.1), бик яхшы химик каршылыкны һәм ябышмый торган үзлекләрне тәэмин итә, пластиналарның ябышуын булдырмый һәм арткы ягындагы пычрануны бетерә. Аскы керамик нигез (99.8% Al₂O₃) югары бөгелә торган ныклык (361–1000 МПа), тузуга чыдамлык һәм 260°C кадәр термик тотрыклылык тәкъдим итә (каплау чиге). Бу оч эффектор нечкә, юка яки ябышкак пластиналар белән эшләү өчен идеаль (мәсәлән, фоторезист каплавыннан яки химик процесслардан соң).
Спецификацияләр (99,8% Al₂O₃ нигезендә, PTFE каплавы белән):
| Милек | Бәя |
| Субстрат материалы | 99,8% алюминий оксиды (фил сөяге) |
| Каплау материалы | PTFE (Тефлон) |
| Каплау калынлыгы | 15–30 мкм |
| Ышкылу коэффициенты (капланган) | ≤0.1 |
| Субстратның бөкләнү көче (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Субстрат катылыгы (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Субстрат тыгызлыгы | 3,93 г/см³ |
| Максималь эш температурасы (каплау чиге) | 260°C |
| Өслекнең тигезсезлеге (каплау алдыннан) | Ra ≤0.4 мкм |
| Диэлектрик көч (субстрат) | 15×10⁶ В/м |
Искәрмә: PTFE каплавы максималь температураны 260°C белән чикли; югарырак температура кушымталары өчен капланмаган керамик яки башка каплауларны карап чыгыгыз.
Кушымталар:
- · Фоторезист каплавыннан соң пластиналар белән эш итү (ябышкак өслекләр)
- · Нечкә яки ватык пластиналарны күчерү (ябышып калудан саклый)
- · Ярымүткәргечләрне тикшерү һәм метрология кораллары
- · Чиста бүлмәләрне автоматлаштыру, анда кисәкчәләр пычрануы минимальләштерелергә тиеш
Җитештерү процессы:
Керамик нигезне төгәл эшкәртеп, төгәл җир белән эшкәртү → өслекне катылау (плазма белән эшкәртү яки вак бөртек белән шартлату) → PTFE сиптерү каплавы → 380°C температурада җылылык белән катыру → соңгы тикшерү. Һәр оч эффектор каплау калынлыгына (вульга агымы), ябышуга (ASTM D3359 аркылы кисү сынауы) һәм ышкылу коэффициентына тикшерелә.
Сыйфат контроле:
Тишекләр яки күбекләр өчен 100% визуаль тикшерү; каплау калынлыгы ±5 мкм эчендә бердәмлек; шаһит талонында 90° бөкләү сынауыннан соң катламнар юк. OEM түземлелегенә карата үлчәмнәрне тикшерү (озынлык ±0,05 мм, яссылык ≤0,1 мм).
Капланмаган яки башка каплаулар белән чагыштырганда өстенлекләре:
- · Ябышмый торган өслек пластинаның ябышуын һәм сынуын булдырмый
- · Керамик капламалар арасында иң түбән ышкылу коэффициенты
- · Бик яхшы химик каршылык (кислоталар, нигезләр, эреткечләр)
- · Материал күчерүне булдырмау аркасында кисәкчәләр барлыкка килүен киметә
Чикләүләр (материал тайпылыш турында искәрмәләр):
PTFE каплавы бирелгән материал үзлекләре таблицаларыннан алынмаган (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Субстрат үзлекләре бирелгән мәгълүмат таблицасына туры килә (99,8% Al₂O₃). Каплау үзлекләре тармак стандартындагы PTFE спецификацияләренә нигезләнгән, чөнки каплау турында мәгълүмат бирелмәгән. 260°C тан артык температурада куллану өчен капланмаган керамик эффектор тәкъдим ителә.*
Үзгәртү:
150–1500 мм озынлыкта, оч формасында (кырый тоткыч, Бернулли, яссы), OEM рәсеме буенча монтаж фланецлары үрнәкләрендә бар. Өлешчә каплау (тик контакт өлкәләрендә генә) яки тулы каплау ихтыяри.
Ябышу һәм ышкылу сынаулары өчен үрнәк сорагыз.
