-
Алюминий оксиды югары төгәллекле керамик боҗралы керамик детальләр
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
ST.CERA ярымүткәргечле җиһазлар өчен керамик патроннар
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Кремний карбиды (SiC) керамик оч эффекторы – югары температуралы пластиналар белән эшләү өчен югары катылык
St.Cera'ның SiC керамик оч эффекторы югары сафлыклы кремний карбидыннан (SiC эчтәлеге 99,72%, ирекле Si 0,05%) S1111 партия материалын кулланып җитештерелә. Ул гаҗәеп механик үзлекләргә ия: бөгелүгә ныклык 449 МПа (үлчәнгән), эластиклык модуле 457 ГПа (үлчәнгән) һәм Викерс катылыгы 25–28 ГПа (гадәти). Түбән тыгызлык (гадәти 3,10–3,15 г/см³) югары махсус катылык бирә, югары тизлекле пластина күчерү роботлары өчен идеаль. 120–150 Вт/м·К (гадәти) җылылык үткәрүчәнлеге һәм 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (гадәти) җылылык киңәю коэффициенты белән, бу оч эффектор җылылыкны нәтиҗәле рәвештә тарата һәм югары температурада эшкәртү вакытында (1600–1700°C кадәр, йөкләнешсез) үлчәм тотрыклылыгын саклый. Кара/соры төс һәм су сеңдерүчәнлеге чиста бүлмәдә туры килүне тәэмин итә.
-
Югары температуралы һәм плазмалы мохит өчен кремний карбиды (SiC) нигезендәге вакуум патрон
St.Cera компаниясенең SiC нигезендәге керамик патрон югары чисталыклы кремний карбидыннан (партия S1111, SiC 99.72%, ирекле Si 0.05%) җитештерелә. Ул 449 МПа үлчәнгән бөкләнү ныклыгы, 3.12 МПа·м¹/² сыну ныклыгы һәм 457 ГПа эластиклык модуле бирә. Материалның гадәти җылылык үткәрүчәнлеге (120–150 Вт/м·К) һәм түбән җылылык киңәюе (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) термик цикл вакытында температураның тиз артуын һәм пластинаның минималь тайпылышын тәэмин итә. Патронны мәсамәле вакуум патрон (бердәм газ агымы) яки уемлы стандарт патрон буларак конфигурацияләргә мөмкин. Максималь куллану температурасы 1600–1700°C (йөкләнешсез) һәм плазма эрозиясенә каршы торучанлыгы белән, бу патрон югары температуралы пластина эшкәртү (яхшыландыру, RTP) һәм алюминий оксиды патроннары таркала торган агрессив эшкәртү камералары өчен идеаль.
-
Ярымүткәргеч җиһазлар Керамик запас частьләр Керамик ташучылар
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Югары катылыктагы тишү өчен металл нигезендәге алюминий оксиды керамик тарту боҗрасы
St.Cera металл нигезендәге алюминий оксидын тарту боҗрасы югары сафлыклы алюминий оксиды (99,8% Al₂O₃) керамик тузу катламын төгәл эшкәртелгән металл нигез (гадәттә алюминий яки дат басмас корыч) белән берләштерә. Бу гибрид дизайн тарту өслегендә керамиканың гаҗәеп тузуга чыдамлыгын һәм химик инертлыгын тәэмин итә, ә металл нигез механик ныклык, җиңел урнаштыру һәм ватык сынуга каршы торучанлык өсти. Алюминий оксиды катламы 361 МПа бөгелү ныклыгы, 16 ГПа Виккерс катылыгы һәм 800°C кадәр термик тотрыклылык бирә. Металл нигездә монтаж тишекләре, урнаштыру штифтлары яки магнит үзлекләре бар, алар белән штамплау машиналарына, планетар штамплау машиналарына һәм CMP җиһазларына интеграцияләү өчен махсус эшләнгән.
-
Ярымүткәргеч зонд станциясе җиһазлары өчен керамик запас частьләр
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Al2O3 керамик пластиналы патронны шәхси эшкәртү
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
ST.CERA ярымүткәргеч җиһазлары өчен махсус эшләнгән керамик пластина
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
300 мм пластина эшкәртү өчен 12 дюймлы алюминий оксиды вакуум патрон
St.Cera компаниясенең 12 дюймлы вакуум патроннары 300 мм пластиналар белән эшләү өчен 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) төгәл эшләнгән. Патронның вак уемлы өслеге бар (уем киңлеге 0,5–1,0 мм, адым 2–3 мм), бу 300 мм диаметр буенча вакуумның тигез таралуын тәэмин итә. Тигезлек 5 мкм эчендә саклана, бу ваклау, арткы яктан тарту һәм тикшерү вакытында пластинаны кәкрелексез ныгытырга мөмкинлек бирә. Материалның югары бөгелә торган ныклыгы (361 МПа) һәм катылыгы (16 ГПа) кабатланган вакуум цикллары вакытында да озак вакытлы үлчәмле тотрыклылыкны гарантияли.
-
Интегральләштерелгән вакуум каналлары белән алюминий оксиды керамик оч эффекторы
St.Cera компаниясенең алюминий оксиды вакуум эффекторы төгәл эшкәртелгән вакуум каналларын һәм суыру тишекләрен турыдан-туры 99,8% югары сафлыклы алюминий оксиды корпусына берләштерә. Бу конструкция тышкы вакуум колодкаларын бетерә, пластинаны турыдан-туры тоту көче белән алырга мөмкинлек бирә. Материалның югары бөгелгән ныклыгы (361 МПа) һәм катылыгы (16 ГПа) кабатланган вакуум цикллары вакытында озак вакытлы үлчәмле тотрыклылыкны тәэмин итә. Колодка мәйданы буенча яссылык 10 мкм эчендә саклана, пластинага басым һәм ватылудан саклый. OEM робот куллары белән җиңел интеграцияләү өчен вакуум портлары арткы урнаштыру фланецында урнашкан.
-
Статик сизгер пластиналар белән эш итү өчен ESD-куркынычсыз алюминий оксиды керамик детальләре
St.Cera компаниясенең ESD (электростатик разряд) өчен куркынычсыз алюминий оксиды керамик детальләре 99,8% югары сафлыклы Al₂O₃ дан җитештерелә, өслек каршылыгы 10⁶–10⁹ Ω/кв.м. тәшкил итә, бу патентланган легирлау яки каплау процессы аша ирешелә. Бу детальләр статик корылманы нәтиҗәле рәвештә тарата, сизгер ярымүткәргеч пластиналарга һәм җайланмаларга электростатик зыян китерүне булдырмый. Төп материал үзенең югары бөгелү ныклыгын (361 МПа), катылыгын (16 ГПа) һәм диэлектрик ныклыгын (15 × 10⁶ В/м) саклый. ESD өчен куркынычсыз керамик детальләргә оч эффекторлары, күтәргеч штифтлар, юнәлеш бирүче рельслар һәм FAB автоматизациясе өчен махсус җайланмалар керә.
