Югары температуралы һәм плазмалы мохит өчен кремний карбиды (SiC) нигезендәге вакуум патрон
St.Cera компаниясенең SiC нигезендәге керамик патрон югары чисталыклы кремний карбидыннан (партия S1111, SiC 99.72%, ирекле Si 0.05%) җитештерелә. Ул 449 МПа үлчәнгән бөкләнү ныклыгы, 3.12 МПа·м¹/² сыну ныклыгы һәм 457 ГПа эластиклык модуле бирә. Материалның гадәти җылылык үткәрүчәнлеге (120–150 Вт/м·К) һәм түбән җылылык киңәюе (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) термик цикл вакытында температураның тиз артуын һәм пластинаның минималь тайпылышын тәэмин итә. Патронны мәсамәле вакуум патрон (бердәм газ агымы) яки уемлы стандарт патрон буларак конфигурацияләргә мөмкин. Максималь куллану температурасы 1600–1700°C (йөкләнешсез) һәм плазма эрозиясенә каршы торучанлыгы белән, бу патрон югары температуралы пластина эшкәртү (яхшыландыру, RTP) һәм алюминий оксиды патроннары таркала торган агрессив эшкәртү камералары өчен идеаль.
Спецификацияләр(бирелгән SiC S1111 сынау отчетына һәм типик кыйммәтләргә нигезләнеп)):
| Милек | Бәя |
| Материал | SiC (99.72% SiC, 0.05% ирекле Si) |
| Тыгызлык | 3,10–3,15 г/см³ |
| Су сеңдерү | 0% |
| Бөгелү көче | 449 МПа |
| Сыну чыдамлыгы | 3.12 МПа·м¹/² |
| Эластик модуль | 457 ГПа |
| Виккерс катылыгы | 25–28 ГПа |
| Җылылык үткәрүчәнлеге | 120–150 Вт/м·К |
| КТЭ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Максималь куллану температурасы (йөкләнешсез) | 1600–1700°C |
| Яссылык (300 мм дан артык) | ≤5 мкм |
| Өслек бизәлеше | Ra ≤0.4 мкм (бер катламлы) |
Кушымталар:
● Югары температуралы патронажлау (яхшыландыру, RTP, эпитаксиаль үсеш)
● Фторга югары каршылыклы плазмалы эшкәртү патрон
● Бер төрле җылыту/суыту белән нечкә пластина белән эш итү
● Контактсыз пластина терәге өчен мәсамәле патрон
Җитештерү:
SiC блендерлау → яссылыкны һәм өслек профилен төгәл тарту → өстәмә күзәнәкле структура формалаштыру (вакуум патрон өчен) → шаплау → ультратавышлы чистарту. Һәр патрон 100% яссылыкка (лазер интерферометры) һәм вакуум бердәмлегенә (агым тесты) тикшерелә.
Сыйфат контроле:
● CMM үлчәмнәрен тикшерү (диаметр, калынлык, тишекләр урнашуы)
● ASTM буенча яссылыкны үлчәү
● Гелий агып чыгуын тикшерү (вакуум патроннары өчен)
● Һәр партия өчен бөгелүчәнлек ныклыгын тикшерү (сынау отчетына сылтама)
Алюминий пластиналары белән чагыштырганда өстенлекләре:
● Югарырак җылылык үткәрүчәнлеге (алюминий оксиды өчен 120–150 vs 32 Вт/м·К) – җылылык тапшыру 4 тапкыр тизрәк
● Түбәнрәк CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – пластинаның термик киеренкелеген киметә
● Плазмага каршы торучанлыкның югары булуы – фтор белән эшкәртүдә гомер озынлыгы 10 тапкыр арту
● Югарырак максималь куллану температурасы (алюминий оксиды өчен 1600°C һәм 800°C)
Үзгәртү:
● Күзәнәкле яки чокырлы өслек
● Диаметры 100–450 мм, түгәрәк яки квадрат
● Кырый герметик боҗрасы яки зона вакуум бүлгечләре
● Югары катылыктагы урнаштыру өчен металл нигез варианты
Югарыдагы барлык механик мәгълүматлар бирелгән сынау отчетыннан алынган (S1111 партиясе). Термик һәм катылык күрсәткечләре бу SiC маркасы өчен типик. Күзәкле SiC патроннары өстәмә эшкәртү таләп итә; зинһар, билгеле бер күзәнәклелек һәм күзәнәк зурлыгы турында белешегез.
