-
Вафли белән эш итү өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды керамик робот кулы
St.Cera компаниясенең алюминий оксиды керамик робот кулы 99,8% югары сафлыктагы Al₂O₃ (глинозем) оксидыннан төгәл эшләнгән. Ул гаҗәеп бөгелгән ныклыкны (361 МПа), югары катылыкны (16 ГПа) һәм түбән тыгызлыкны (3,93 г/см³) берләштерә, нәтиҗәдә ярымүткәргеч пластина күчерү өчен җиңел, ләкин каты кул барлыкка килә. Материалның җылылык киңәю коэффициенты (7,2 × 10⁻⁶/°C) кремнийга бик туры килә, эшкәртү вакытында җылылык туры килмәвен минимальләштерә.
-
Бернулли керамик оч эффекторы — нечкә һәм ватык пластиналар өчен контактсыз пластина эшкәртү
St.Cera'ның Бернулли керамик оч эффекторы пластиналарны физик контактсыз эшкәртү өчен аэродинамик күтәрү куллана. Югары сафлыклы 99,8% алюминий оксидыннан (Al₂O₃) яки кремний карбидыннан (SiC) эшләнгән ул төгәл эшкәртелгән насадкалар белән җиһазландырылган, алар басымлы газ чыгара, нәтиҗәдә оч эффекторы һәм пластина арасында юка һава пленкасы барлыкка килә. Бу контактсыз принцип арткы яктан пычрануны, кырыйларның ватылуын һәм өслекнең зыян күрүен бетерә, бу аны юка (≤100 мкм), сынучан яки кәкре пластиналар өчен идеаль итә. Керамик субстрат югары бөгелә торган ныклык (Al₂O₃ өчен 361 МПа; SiC өчен 550–600 МПа га кадәр), түбән масса һәм бик яхшы үлчәмле тотрыклылык бирә, югары тизлекле пластина күчерү роботларында кабатланырлык урнаштыруны тәэмин итә.
-
Тефлон белән капланган керамик оч эффекторы – сизгер пластиналар белән эшләү өчен ябышмый торган өслек
St.Cera'ның тефлон (PTFE) белән капланган керамик оч эффекторы югары ныклыктагы алюминий оксиды нигезен тигез, түбән ышкылучан PTFE каплавы белән берләштерә (калынлыгы 15–30 мкм). Каплама бик түбән ышкылу коэффициентын (≤0.1), бик яхшы химик каршылыкны һәм ябышмый торган үзлекләрне тәэмин итә, пластиналарның ябышуын булдырмый һәм арткы ягындагы пычрануны бетерә. Аскы керамик нигез (99.8% Al₂O₃) югары бөгелә торган ныклык (361–1000 МПа), тузуга чыдамлык һәм 260°C кадәр термик тотрыклылык тәкъдим итә (каплау чиге). Бу оч эффектор нечкә, юка яки ябышкак пластиналар белән эшләү өчен идеаль (мәсәлән, фоторезист каплавыннан яки химик процесслардан соң).
