Ярымүткәргечле процесс җайланмалары өчен керамик терәк штифт
St.Cera керамик терәк штифтлары (шулай ук күтәрү штифтлары яки терәк штифтлары дип тә атала) ярымүткәргеч эшкәртү камераларында пластиналарны яки субстратларны эшкәртү, җылыту яки суыту вакытында күтәрү өчен кулланыла. 99,8% алюминий оксиды яки кремний нитридыннан эшләнгән бу штифтлар югары кысу ныклыгы, җылылык тотрыклылыгы һәм химик каршылык күрсәтә. Ярымсферик яки яссы очлы конструкция пластинаның тырналуын булдырмый.
Спецификацияләр(Алюминий оксиды 99,8%):
| Милек | Бәя |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ яки Si₃N₄ |
| Озынлык | 10 – 100 мм |
| Диаметр | 1 – 10 мм |
| Оч формасы | Яссы, ярымшарсыман, очлы |
| Кысылу көче (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максималь эш температурасы (Al₂O₃) | 1600°C |
| Өслек бизәлеше | Әйләндерелгән (Ra ≤0.4 мкм) |
| Диаметр буенча толерантлык | ±0,01 мм |
Кушымталар:
CVD/PVD камераларындагы күтәргеч штифтлар
Плитада пешерү өчен терәк штифтлары
Зонд картасын терәк структуралары
Кварц мич көймәсе терәткечләре
Җитештерү:
OD төгәл үзәксез тарту → оч профилен алмаз белән тарту → ультратавышлы чистарту → 100% үлчәмле тикшерү.
Сыйфат контроле:
Озынлык/диаметр өчен CMM, оч радиусы өчен оптик чагыштыргыч, кысу ныклыгын тикшерү өчен йөкләнеш сынауы (һәр партия өчен очраклы үрнәк). Ферромагнит пычрану юк (магнит белән тикшерелгән).
Металл яки кварц штифтлары белән чагыштырганда өстенлекләре:
Дат басмас корычтан 5 тапкыр озаграк хезмәт итү вакыты
Процесс камерасында металл пычрануы юк
Кварцка караганда югарырак температурага сәләтлелек (1600°C vs 1100°C)
Ябышмый торган өслек (кисәкчәләрнең ябышуы кими)
Үзгәртү:
Күп очлы профильләр, җепсыман нигез яки конуссыман вал.
Шулай ук, без экстремаль плазма мохите өчен SiC пиннары белән тәэмин итәбез.
