Кагылган һәм нечкә пластиналар белән эш итү өчен металл нигезендәге күзәнәкле SiC вакуум патрон
St.Cera компаниясенең металл нигезендәге керамик вакуум патронында кремний карбиды (SiC) керамик катламы һәм төгәл эшкәртелгән металл нигез (алюминий яки дат басмас корыч) берләштерелгән. Порцияле SiC материалы (зәңгәр-кара, порциялелек 35–40%, порция зурлыгы 20–30 мкм, үткәрүчәнлек 60 мл/см²·мин) пластинаның бөтен өслеге буенча тигез, йомшак вакуум таралуын тәэмин итә, кырый билгеләрен бетерә һәм нечкә (≤100 мкм) яки кәкре пластиналар өчен контактсыз ярдәм бирә. SiC катламы түбән җылылык киңәюен (3,5 × 10⁻⁶/℃), 1000°C кадәр җылылык тотрыклылыгын һәм уртача бөгелү ныклыгын (32–35 МПа) тәэмин итә. Металл нигез структура катылыгын, җепле тишекләр аша җиңел урнаштыруны һәм ватык сынудан саклауны өсти. Бу патрон арткы яктан тарту, ваклау һәм югары температуралы пластина эшкәртү өчен идеаль, анда бердәм вакуум һәм җылылык туры килүчәнлеге бик мөһим.
Спецификацияләр (бирелгән күзәнәкле SiC мәгълүматларына нигезләнеп):
| Милек | Бәя |
| Керамик материал | Күзәнәкле кремний карбиды (SiC ≥80%) |
| Төс | Зәңгәр-кара |
| Күзәнәклелек | 35–40% |
| Тишекләр зурлыгы | 20–30 мкм |
| Тыгызлык | 2,1–2,3 г/см³ |
| Үткәрүчәнлек | 60 мл/см²·мин |
| Бөгелү көче | 32–35 МПа |
| Җылылык киңәю коэффициенты (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| Максималь эш температурасы | 1000°C |
| Электр каршылыгы | 10⁻¹⁰ Ω/см (бирелгән мәгълүматлар буенча, күзәнәкле SiC өчен гадәти) |
| Металл нигез материалы | Алюминий 6061 яки дат басмас корыч 304 (ихтыярый) |
| Металл нигез калынлыгы | 10–30 мм (шәхси заказ буенча) |
Искәрмә: Бөгелүчәнлек тыгызлыгы тыгыз SiC дан түбәнрәк, чөнки ул күзәнәкле. Металл нигез үзенчәлекләре керамик өстәлләрдән түгел.
Кушымталар:
- · Нечкә пластиналарны арткы яктан тарту (≤100 мкм)
- · Ваклап турау өчен кәкре пластиналы беркеткеч
- · Югары температуралы пластинаны пресслау (1000°C кадәр)
- · Күзәнәкле яки ватык субстратлар өчен вакуум җайланмасы
Җитештерү:
Күзәнәкле SiC пластинасы (мәйдә формалаштыручылар белән формалаштырылган, блендерланган) → ≤10 мкм яссылыкка кадәр ябыштырылган → вакуум портлары һәм беркетү үзенчәлекләре белән эшкәртелгән металл нигез → эпоксидлы бәйләнеш яки механик кысу → гелий агып чыгу сынауы.
Сыйфат контроле:
- · SEM ярдәмендә расланган күзәнәклелек һәм күзәнәк зурлыгы
- · Үткәрүчәнлек тесты (һава агымы)
- · Лазер интерферометры белән үлчәнгән яссылык
- · Гелий агып чыгу тизлеге <1×10⁻⁹ Па·м³/с
Уемалы яки тыгыз керамик патроннарга караганда өстенлекләре:
- · Вафли билгеләре юк – аерым тишекләрсез бердәм вакуум
- · Үз-үзен чистартучы тишекләр – тыгылуны киметә
- · Каерылган пластиналарны тота (500 мкм га кадәр озынлыктагы җәя)
- · Металл нигез ватык сынуны булдырмый һәм интеграцияне гадиләштерә
Чикләүләр:
- · Түбән бөгелгәнлек ныклыгы (32–35 МПа) – бәрелүдән сакланыгыз
- · Эш температурасы 1000°C белән чикләнгән (порациоз SiC), ләкин механик кыскычлар кулланылмаса, металл нигезендәге эпоксид бәйләнеше ≤200°C белән чикләнә
- · Югары басымлы вакуум өчен түгел (пора структурасы максималь вакуум дифференциальлеген чикли)
Үзгәртү:
- · Металл нигез: алюминий (җиңел), дат басмас корыч (коррозиягә чыдам), Инвар (аз киңәю)
- · Ябыштыру: эпоксид (≤200°C) яки механик кыскыч (500°C кадәр)
- · Зона вакуумын контрольдә тоту өчен кырый герметик боҗрасы
Игътибар итегез: Бирелгән бөкләнү ныклыгы (32–35 МПа) тыгыз керамикага караганда күпкә түбәнрәк, чөнки ул мәсамәле. Кырыйлары ватылмасын өчен сак булыгыз.
