Физик пар урнаштыру системалары өчен алюминий оксиды PVD изоляция боҗрасы
St.Cera компаниясенең PVD изоляция боҗрасы физик пар чыгару (PVD) системаларында куллану өчен 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелә. Боҗра камера компонентлары арасында электр изоляциясен тәэмин итә, дуга барлыкка килүне булдырмый һәм плазманың тотрыклы эшләвен тәэмин итә. Төп үзенчәлекләргә югары диэлектрик ныклык (15 × 10⁶ V/m), чагыштырма каршылык >10¹⁴ Ω·mm²/m һәм 1600°C кадәр термик тотрыклылык керә. Безнең төгәл эшкәртү мөмкинлекләребез тышкы диаметрларны 600 мм га кадәр, эчке диаметрларны 0,2 мм га кадәр киметә, яссылыкны 0,003 мм һәм Ra0.1 өслек бизәлешен тәэмин итә. Боҗраның нуль мәсамәлелеге һәм химик инертлыгы агрессив сиптерү мохитендә озак вакытлы ышанычлылыкны тәэмин итә.
Спецификацияләр (99,8% Al нигезендә)₂O₃& St.Cera җитештерү мөмкинлекләре):
| Милек | Бәя |
| Материал | 99,8% алюминий оксиды (фил сөяге) |
| Тыгызлык | 3,93 г/см³ |
| Бөгелү көче | 361 МПа |
| Виккерс катылыгы | 16 ГПа |
| Диэлектрик көч | 15×10⁶ В/м |
| Махсус каршылык | >10¹⁴ Ω·мм²/м |
| Максималь тышкы диаметр | 600 мм |
| Минималь эчке диаметр | 0,2 мм |
| Максималь калынлык | 100 мм |
| Яссылык | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Өслек бизәлеше | Ra0.1 |
| Максималь эш температурасы | 1600°C |
Кушымталар:
- · PVD системаларында максатчан арткы пластина изоляторлары
- · Камералы изоляторлар
- · Сиптерү системаларында калкан боҗрасы изоляторлары
- · Плазма камераларында югары көчәнешле изоляция
Җитештерү төгәллеге:
Концентриклык: 0,01 мм, түгәрәклек: 0,002 мм, турылык: 0,005 мм, перпендикулярлык: 0,005 мм, CMM ярдәмендә расланган.
AПолимер изоляторлары белән чагыштырганда өстенлекләре:
- · Полимерның <300°C чиге белән чагыштырганда 1600°C температурага чыдам
- · Газ чыгару юк – вакуумның бөтенлеген саклый
- · Плазма эрозиясенә һәм химик һөҗүмгә каршы тора
Үзгәртү:
Заказ буенча кисемтәләр, урнаштыру үзенчәлекләре, баскыч профильләре һәм күп концентрик боҗра конструкцияләре бар.
